| 申请人 |
SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. |
发明人 |
ITOH, KUNIO SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;SHIOBARA, TOSHIO SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;FUTATSUMORI, KOJI SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;TOMIYOSHI, KAZUTOSHI SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD.;SHIMIZU, HISASHI SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD. |
