发明名称 PATTERNING THIN FILM SUPERCONDUCTORS USING FOCUSED BEAM TECHNIQUES
摘要
申请公布号 EP0310248(A3) 申请公布日期 1989.05.24
申请号 EP19880308081 申请日期 1988.09.01
申请人 GENERAL MOTORS CORPORATION 发明人 MANTESE, JOSEPH VITO;MICHELI, ADOLPH LOUIS;HAMDI, ABOUD HALAL;CATALAN, ANTONIO BUDDY
分类号 C01G3/00;C01B13/14;C01G1/00;C23C18/12;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;H01J37/30;G03G5/02 主分类号 C01G3/00
代理机构 代理人
主权项
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