发明名称 LAGERSTABILE POSITIV-FOTORESIST-ZUSAMMENSETZUNGEN
摘要
申请公布号 DE3738603(A1) 申请公布日期 1989.05.24
申请号 DE19873738603 申请日期 1987.11.13
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 RAULIN,DIETMAR;WAECHTLER,ANDREAS,DR.;HEINZ,DR. NEISIUS,KARL
分类号 G03C1/00;G03C1/72;G03F7/022 主分类号 G03C1/00
代理机构 代理人
主权项
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