| 发明名称 |
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL AND SEMICONDUCTOR CRYSTAL PRODUCT OBTAINED THEREBY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01132118(A) |
申请公布日期 |
1989.05.24 |
| 申请号 |
JP19880210357 |
申请日期 |
1988.08.24 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YAMAGATA KENJI;KUMOMI HIDEYA;TOKUNAGA HIROYUKI;ARAO KOZO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/84;H01L31/04 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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