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发明名称
PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
EP0230728(A3)
申请公布日期
1989.05.24
申请号
EP19860309089
申请日期
1986.11.20
申请人
PLASMON DATA SYSTEMS, INC.
发明人
GARDNER, KEITH;LONGMAN, ROBERT JAMES;HELFET, PETER ROY
分类号
G03F7/20;G11B7/00;G11B7/26;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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