| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ISOLATIONSGEBIETEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD268336(A1) |
申请公布日期 |
1989.05.24 |
| 申请号 |
DD19870311717 |
申请日期 |
1987.12.30 |
| 申请人 |
VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN,DD |
发明人 |
RAAB,MICHAEL,DD |
| 分类号 |
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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