REACTOR,申请号JP19880260714-传众专利搜索

发明名称	REACTOR
摘要
申请公布号	JPH01132127(A)	申请公布日期	1989.05.24
申请号	JP19880260714	申请日期	1988.10.18
申请人	INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM>	发明人	AANORUDO RAIZUMAN;MERUBUIN BAAKENBURITSUDO
分类号	H01L21/22;C23C16/455;C30B31/10;C30B31/16;C30B33/00;H01L21/31;H01L21/324	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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