| 摘要 |
L'appareil de positionnement décrit sert à positionner avec précision une pièce d'un dispositif par rapport à une autre et est destiné à être compatible avec des espaces sous-vide, de façon à pouvoir être utilisé dans des chambres sous ultravide. A cet effet, aucune lubrification n'est permise sur les pièces en mouvement les unes par rapport aux autres, de sorte que tous les contacts coulissants au niveau des surfaces en mouvement les unes par rapport aux autres doivent être évitées. Le mode de réalisation préféré est destiné à être utilisé pour faire tourner un réseau de diffraction à l'intérieur d'une source lumineuse monochromatique du type Cerny, Turner sous ultravide. Un organe de translation piézoélectrique linéaire de type INCHWORM (60) est utilisé à l'intérieur de la chambre à vide pour effectuer l'entraînement d'un élément de sortie (64) en paliers croissant à très petits pas avec une très grande précision. Une bande (61) est utilisée pour transformer le mouvement linéaire de l'élément de sortie en mouvement rotatif du support (53) du réseau de diffraction, ce qui est obtenu par enroulement de la bande autour d'un support cylindrique (58) du réseau de diffraction et par fixation des deux extrémités de la bande par l'intermédiaire d'un dispositif de tension (65) à l'élément de sortie (64), produisant ainsi une transmission du mouvement sans dérapage. Un pivot flexible (48, 49) est utilisé pour soutenir le support cylindrique à partir d'une structure fixe, de façon à permettre la rotation du support sans glissement ou sans jeu. Un détecteur, constitué par exemple par un lecteur à échelle optoélectronique (74), lit la position du support rotatif directement à d'une échelle de bande (73) enroulée autour dudit support, de façon à fournir une indication sur le mouvement du réseau. |
