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发明名称
FORMATION OF AMORPHOUS THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH01129975(A)
申请公布日期
1989.05.23
申请号
JP19870286777
申请日期
1987.11.13
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
TOMIKAWA TADASHI;NAKAGAMA SHOJI
分类号
C23C16/14;C23C16/44;C23C16/48
主分类号
C23C16/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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