发明名称 FORMATION OF AMORPHOUS THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01129975(A) 申请公布日期 1989.05.23
申请号 JP19870286777 申请日期 1987.11.13
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TOMIKAWA TADASHI;NAKAGAMA SHOJI
分类号 C23C16/14;C23C16/44;C23C16/48 主分类号 C23C16/14
代理机构 代理人
主权项
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