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发明名称 ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01130532(A) 申请公布日期 1989.05.23
申请号 JP19870291330 申请日期 1987.11.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIBANO TERUO;OGAWA TOSHIAKI;MORITA HIROYUKI;NISHIOKA KYUSAKU;FUJIWARA NOBUO
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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