发明名称 SECONDARY ELECTRON SENSOR
摘要
申请公布号 JPH01130459(A) 申请公布日期 1989.05.23
申请号 JP19870289082 申请日期 1987.11.16
申请人 NICHIDENSHI TEKUNIKUSU:KK 发明人 MORIWAKI HIRONOBU;UNO MASASHI
分类号 H01J37/20;H01J37/244 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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