| 发明名称 |
Process for depositing a III-V compound layer on a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4833103(A) |
申请公布日期 |
1989.05.23 |
| 申请号 |
US19870062670 |
申请日期 |
1987.06.16 |
| 申请人 |
EASTMAN KODAK COMPANY |
发明人 |
AGOSTINELLI, JOHN A.;GYSLING, HENRY J. |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C18/12;H01L21/208 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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