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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR WASHING PROCESS
摘要
申请公布号 JPH01130771(A) 申请公布日期 1989.05.23
申请号 JP19880251738 申请日期 1988.10.05
申请人 NUKEM GMBH 发明人 NORUBERUTO RENKU;IERUKU BERUNAA
分类号 B08B3/04;B08B11/04;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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