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发明名称 Methods and apparatus for thermal transfer with a semiconductor wafer in vacuum
摘要
申请公布号 US4832781(A) 申请公布日期 1989.05.23
申请号 US19880141709 申请日期 1988.01.07
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 MEARS, ERIC L.
分类号 B29C39/02;B29C39/26;B29L31/00;C23C14/50;C30B25/10;C30B31/12;C30B31/22;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/265 主分类号 B29C39/02
代理机构 代理人
主权项
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