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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR HEAT TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH01130521(A) 申请公布日期 1989.05.23
申请号 JP19870290163 申请日期 1987.11.17
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 KINOSHITA KENICHI;MIYAGAWA KAZUHISA;ISHIDA HAJIME;TATSUZUKI SHIYOUICHI
分类号 F27D7/00;H01L21/22 主分类号 F27D7/00
代理机构 代理人
主权项
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