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发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH01129443(A)
申请公布日期
1989.05.22
申请号
JP19870287930
申请日期
1987.11.14
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
SUGAI TOSHIYUKI
分类号
H01L21/3205
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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