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发明名称 MEASURING METHOD OF PATTERN WIDTH OF MINUTE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH01129114(A) 申请公布日期 1989.05.22
申请号 JP19870287541 申请日期 1987.11.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KENGAKU SETSUYA
分类号 G01B11/24;G01B21/06;H01L21/66 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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