| 发明名称 |
MEASURING METHOD OF SURFACE ROUGHNESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01129113(A) |
申请公布日期 |
1989.05.22 |
| 申请号 |
JP19870287479 |
申请日期 |
1987.11.16 |
| 申请人 |
ASAHI CHEM IND CO LTD |
发明人 |
YAMAKITA YUKISHIGE;KURATOMI SHIGEKI |
| 分类号 |
H01J37/22;G01B15/00;G01B15/08;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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