发明名称 THIN-FILM SENSOR
摘要
申请公布号 JPH01129128(A) 申请公布日期 1989.05.22
申请号 JP19870288974 申请日期 1987.11.16
申请人 TOKYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KITAGAWA TORU;YAMASHITA TAKAHARU
分类号 G01G3/14;G01G3/18;G01L1/22 主分类号 G01G3/14
代理机构 代理人
主权项
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