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发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH01128428(A)
申请公布日期
1989.05.22
申请号
JP19870285240
申请日期
1987.11.13
申请人
NEC CORP
发明人
KASAI NAOKI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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