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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11204518(A) 申请公布日期 1999.07.30
申请号 JP19980013478 申请日期 1998.01.09
申请人 NEC CORP 发明人 KITAMURA HIROYUKI
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/824 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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