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发明名称 METHOD FOR CONTROLLING AMOUNT OF EVAPORATION IN VACUUM EVAPORATOR
摘要
申请公布号 JPH01127675(A) 申请公布日期 1989.05.19
申请号 JP19870284315 申请日期 1987.11.12
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 UCHIDA KUNIAKI;FURUKAWA HEIZABURO
分类号 C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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