SELECTIVE FORMATION OF THIN FILM BY THERMOCHEMICAL VAPOR GROWTH METHOD,申请号JP19870249750-传众专利搜索

发明名称	SELECTIVE FORMATION OF THIN FILM BY THERMOCHEMICAL VAPOR GROWTH METHOD
摘要
申请公布号	JPH01127677(A)	申请公布日期	1989.05.19
申请号	JP19870249750	申请日期	1987.10.05
申请人	DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD;WATANABE NOBUATSU;OYO KAGAKU KENKYUSHO	发明人	WATANABE NOBUATSU;TEI YOUHOU;IZUMI AKIRA;SHINBARA HITOSHI;MUKAEGAKI KOUICHI;KIRIE KEIJI
分类号	C23C16/48;C23C16/04	主分类号	C23C16/48
代理机构		代理人
主权项
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