| 摘要 |
<P>L'invention concerne un appareil destiné à projeter, sur une tranche, à travers un système optique, le dessin d'un circuit formé sur un masque ou sur un réticule.</P><P>Des capteurs 11, 12, 13 détectent les conditions ambiantes de l'appareil, telles que la pression atmosphérique, la température et l'humidité et, d'après les valeurs détectées, un microprocesseur intervient de façon à corriger toute erreur de position du foyer et toute erreur de grossissement affectant la projection du dessin sur la tranche 4.</P><P>Domaine d'application : fabrication de circuits intégrés, etc.</P>
|
