| 发明名称 |
METHOD FOR COLLECTING FINE PARTICLES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01127064(A) |
申请公布日期 |
1989.05.19 |
| 申请号 |
JP19870286725 |
申请日期 |
1987.11.13 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
OTSUKA HISATOSHI;SHIMIZU TAKAAKI;SAWADA KATSUYA |
| 分类号 |
B01D45/12;B04C5/04;B04C5/08;B04C5/26 |
主分类号 |
B01D45/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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