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发明名称 FOCUSED CHARGING BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01127668(A) 申请公布日期 1989.05.19
申请号 JP19870283409 申请日期 1987.11.09
申请人 NEC CORP 发明人 ASAKAWA KIYOSHI
分类号 C23C14/22 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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