发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01125850(A) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 JP19870283555 申请日期 1987.11.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TANPO TOSHIHARU
分类号 H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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