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发明名称 SILICIUMSCHEIBEN ZUR ERZEUGUNG VON OXIDSCHICHTEN HOHER DURCHSCHLAGSFESTIGKEIT UND VERFAHREN ZUR IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE3737815(A1) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 DE19873737815 申请日期 1987.11.06
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 HAHN,PETER,DIPL.-PHYS.DR.;PIONTEK,HUBERT;SCHNEGG,ANTON,DIPL.-CHEM.DR.;ZULEHNER,WERNER,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 H01L21/304;H01L21/306;H01L21/316;H01L21/322 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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