发明名称 MAGNETRON ION SOURCE WITHOUT FILAMENT AND PROCESS FOR USING SAME
摘要 <p>The invention concerns a magnetron ion source without filament comprising a magnetron, a microwave waveguide or a microwave coaxial line, a cylindrical hollow resonator, a lambda 4 choke piston, ECR magnets and a quartz dome. Also described is a process for using said device.</p>
申请公布号 WO1989004546(A1) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 EP1988001015 申请日期 1988.11.10
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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