发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01125976(A) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 JP19870285802 申请日期 1987.11.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAMURA MITSUYOSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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