发明名称 RESIST DEVELOPMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01125828(A) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 JP19870284916 申请日期 1987.11.10
申请人 NEC CORP 发明人 TAKAHASHI SHIGERU;NOZUE HIROSHI;SHINTOMI HIROYUKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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