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经营范围
发明名称
RESIST DEVELOPMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01125828(A)
申请公布日期
1989.05.18
申请号
JP19870284916
申请日期
1987.11.10
申请人
NEC CORP
发明人
TAKAHASHI SHIGERU;NOZUE HIROSHI;SHINTOMI HIROYUKI
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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