发明名称 DEVICE FOR INTRODUCING LATTICE DEFECT TO REAR OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH01125832(A) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 JP19870284033 申请日期 1987.11.10
申请人 TAIYO SANSO CO LTD;MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TADA MASUTA;AKAMATSU KAZUHIKO;FUKUMOTO HAYAAKI;OMORI TOSHIAKI;FUJINO TAKESHI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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