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发明名称 IC WAFER HOLDING MECHANISM OF IC WAFER TRANSFER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01125843(A) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 JP19870284021 申请日期 1987.11.10
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 ITO KAZUYUKI
分类号 H01L21/677;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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