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发明名称 HETEROINTERFACE FORMATION
摘要
申请公布号 JPH01125818(A) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 JP19870282215 申请日期 1987.11.10
申请人 NEC CORP 发明人 IDE YUICHI
分类号 H01L21/203;H01L21/20 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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