发明名称 FORMATION OF WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01125955(A) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 JP19870284540 申请日期 1987.11.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KAMISAKA WATARU
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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