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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01125967(A) 申请公布日期 1989.05.18
申请号 JP19870284586 申请日期 1987.11.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SATSUMA KAZUMASA
分类号 H01L21/74;H01L21/768;H01L21/8222;H01L23/522;H01L27/06 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
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