发明名称 MINUTE DISTANCE MOVING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH01124947(A) 申请公布日期 1989.05.17
申请号 JP19870282596 申请日期 1987.11.09
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRON LTD 发明人 SHIGENO MASAJI;WAKIYAMA SHIGERU
分类号 H01J37/20;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q60/16;H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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