| 发明名称 |
FORMATION OF DEVICE ISOLATION REGION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01124241(A) |
申请公布日期 |
1989.05.17 |
| 申请号 |
JP19870282070 |
申请日期 |
1987.11.10 |
| 申请人 |
NIPPON MOTOROOLA KK |
发明人 |
TODA KAZUO;YOSHII YOSHIHARU |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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