发明名称 APPARATUS FOR VAPOR GROWTH OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01123412(A) 申请公布日期 1989.05.16
申请号 JP19870281657 申请日期 1987.11.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KODAMA KUNIHIKO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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