| 发明名称 |
INSPECTION OF ACTIVE MATRIX ARRAY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01123292(A) |
申请公布日期 |
1989.05.16 |
| 申请号 |
JP19870282453 |
申请日期 |
1987.11.09 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAKAHARA HIROSHI |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/02;G02F1/13;G02F1/133;G02F1/136;G02F1/1368;G09G3/36;H01L27/12;H01L29/786 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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