发明名称 HEAT TREATMENT OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01122999(A) 申请公布日期 1989.05.16
申请号 JP19870280166 申请日期 1987.11.05
申请人 NIPPON MINING CO LTD 发明人 TAKAHASHI JUNZO;SATO KENJI;KAMEYAMA TAKEHIKO
分类号 H01L21/324;C30B29/40;C30B33/00;C30B33/02 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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