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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0125238(B2) 申请公布日期 1989.05.16
申请号 JP19850275185 申请日期 1985.12.09
申请人 KOGYO GIJUTSUIN 发明人 FUKUNAGA TOSHIAKI;TAKAMORI TAKESHI;NAKAJIMA HISAO
分类号 H01L21/203;H01L21/225;H01S5/00 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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