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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01122168(A) 申请公布日期 1989.05.15
申请号 JP19870279928 申请日期 1987.11.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAGUCHI YASUO
分类号 H01L27/12;H01L21/28;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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