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经营范围
发明名称
MEASUREMENT JIG FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01122583(A)
申请公布日期
1989.05.15
申请号
JP19870279510
申请日期
1987.11.05
申请人
FUJITSU LTD
发明人
ITAKURA TORU
分类号
H01L21/66;G01R1/073;G01R31/26;H01R33/76
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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