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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0171437(U)	申请公布日期	1989.05.12
申请号	JP19870167233U	申请日期	1987.10.30
申请人		发明人
分类号	G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/30	主分类号	G03F9/00
代理机构		代理人
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