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发明名称 AUTOMATIC CLEANING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH01120828(A) 申请公布日期 1989.05.12
申请号 JP19870278576 申请日期 1987.11.04
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AKAZAWA TSUTOMU
分类号 B08B3/02;H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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