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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01120065(A) 申请公布日期 1989.05.12
申请号 JP19870277630 申请日期 1987.11.02
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKADA SHOZO;OBUSE KAZUHIRO;YOSHII SHIGEJI;TSUJI KAZUHIKO
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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