| 发明名称 |
MANUFACTURE OF CRYSTAL THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01120047(A) |
申请公布日期 |
1989.05.12 |
| 申请号 |
JP19870275821 |
申请日期 |
1987.11.02 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIGENIWA MASAHIRO;MURAKAMI HIDEKAZU;KUSUKAWA KIKUO;KETSUSAKO MITSUNORI;WADA YASUO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/764;H01L27/00;H01L27/08;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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