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发明名称 ELECTRON BEAN EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号 JPH01119023(A) 申请公布日期 1989.05.11
申请号 JP19870277023 申请日期 1987.10.31
申请人 HOYA CORP 发明人 KINOSHITA HIROSHI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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