发明名称 |
FORMING METHOD AND MANUFACTURING DEVICE FOR SAMPLE FOR TRANSMISSION TYPE ELECTRON MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01118738(A) |
申请公布日期 |
1989.05.11 |
申请号 |
JP19870276319 |
申请日期 |
1987.10.30 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KIMURA TAKAHIRO;YAMADA HIROMASA |
分类号 |
B24B49/12;B23Q16/00;G01N1/28;G01N23/04;H01J37/20 |
主分类号 |
B24B49/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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